专利名称：大型真空设备的快速抽气装置专利类型：实用新型专利发明人：储红缨
申请号：CN200520045016.0申请日：20050914公开号：CN2921039Y公开日：20070711
摘要：本实用新型公开了一种大型真空设备的快速冲洗抽气装置，其包括真空室、预抽泵、真空阀和真空计，该真空设备还包括冲洗真空机组、冲洗气体气源和冲洗气体注入口。本实用新型利用注入非活性气体，冲洗真空设备中的活性气体，并重复进行冲洗抽气，或连续冲洗可以快速降低真空容器中活性气体分压强。本实用新型具有结构简单、抽气时间短、能耗低、生产效率高，并可提高真空产品的质量的特点，还能降低高真空泵的抽速，特别适用于对活性气体敏感的等离子体应用(磁控溅射、离子镀、PCVD等)、各种大型真空炉熔炼炉和热处理炉等应用领域。
申请人：储红缨
地址：200130 上海市南汇区惠南镇南园路99弄78号
国籍：CN
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