专利名称：一种宽动态真空检漏装置专利类型：实用新型专利
发明人：严奉轩,王文锦,李芳,路晓川,龙希伟,赵巍仑,赵加鹏,
孙喜堂,凌大鹏,陈宁,韩京
申请号：CN201921356594.4申请日：20190820公开号：CN210834044U公开日：20200623
摘要：本实用新型涉及一种宽动态真空检漏装置，属于真空检漏技术领域。本实用新型所述检漏装置采用QMS与阳极点火技术联动的方式，在高精度控制回路的配合下，能够实现10Pa到10Pa动态范围的真空检漏，填补了目前市场宽动态范围真空检漏的技术空白；而且该检漏装置的示踪气体不限于氦气，具有广泛的应用前景。
申请人：中国船舶重工集团公司第七一八研究所
地址：056027 河北省邯郸市展览路17号
国籍：CN
代理机构：北京理工大学专利中心
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