专利名称：微晶玻璃与不锈钢材料的超低温阳极键合方法及装
置
专利类型：发明专利
发明人：李宏,程金树,汤李缨,全健,曹欣申请号：CN200510020000.9申请日：20051213公开号：CN1792938A公开日：20060628
摘要：本发明是微晶玻璃与不锈钢材料的超低温阳极键合方法及装置。本方法是：先将样品玻璃进行熔制和按热处理工艺进行处理，然后将获得的微晶玻璃基片和不锈钢基片进行抛光、清洗、干燥，再迅速放进阳极键合装置内，使之在100～180℃及键合电压为600～1000V状态下实现有效阳极键合，并获得新的键合材料。本装置设有真空泵(1)、温度控制器(2)、真空室(3)和高温摄像装置(7)，真空室的内腔自上而下依次装有阴极(4)、微晶玻璃基片(5)、不锈钢基片(6)、阳极(8)、加热板(9)和冷却水管(10)。本发明能在较低的键合温度及键合电压下实现材料的有效阳极键合，从而获得残余应力小、键合强度高、密封性好的新材料。
申请人：武汉理工大学
地址：430070 湖北省武汉市洪山区珞狮路122号武汉理工大学科研处
国籍：CN
代理机构：湖北武汉永嘉专利代理有限公司
代理人：王守仁
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