专利名称：激光加工方法与激光加工装置以及太阳能电池板制
造方法
专利类型：发明专利
发明人：下田勇一,丸山诚,小泉光义申请号：CN201010600868.7申请日：20101217公开号：CN102133688A公开日：20110727
摘要：本发明是有关于激光加工方法与激光加工装置以及太阳能电池板制造方法。本发明可以尽可能地降低玻璃基板的形变的影响，使玻璃基板能在保持一定状态的姿势下移动。在将基板搬送至加工位置时，保持气浮的基板的沿搬送方向的两侧边，对其中一侧的边进行固定性保持，而对其中另一侧的边仅在与基板表面垂直的方向进行限制性保持。即，对另一侧的边进行保持，使它仅难以沿垂直方向移动，而基板可在沿其表面的二维方向上移动。这样，可极力降低基板的形变的影响。作为限制基板移动的方法，可使用空气射流、加压控制、滚珠轴承等。
申请人：株式会社日立高科技
地址：日本东京港区西新桥1丁目24番14号
国籍：JP
代理机构：北京中原华和知识产权代理有限责任公司
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