专利名称：透射式金属光栅及其制作方法专利类型：发明专利
发明人：周翠花,李代学,梁跃兵申请号：CN200510130716.4申请日：20051223公开号：CN1790067A公开日：20060621
摘要：一种透射式金属光栅，包括金属基板、金属基板上下表面的光栅亮条纹和金属基板上的暗条纹，光栅亮条纹为金属基板上的缝隙，其透光率为100％，暗条纹为金属基板本身，不透光；金属基板为不锈钢、铜、铝的薄片或金属尺；透射式金属光栅的制造方法是：先对金属基板表面进行清洗，然后在基板上下两面涂上均匀厚度的光刻胶，前烘去除光刻胶中的稀释剂后，将基片上放置在两相同光栅母板间上下对准并进行曝光，再用显影液显影，烘烤坚膜后在FeCl腐蚀液中腐蚀，最后去胶清洁基片表面。本发明具有重量轻、对比度好、线条稳定性好且抗冲击性、抗腐蚀性、抗辐射性好的优点。
申请人：中国科学院光电技术研究所
地址：610209 四川省成都市双流350信箱
国籍：CN
代理机构：北京科迪生专利代理有限责任公司
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