（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201810804122.4 （22）申请日 2018.07.20
（71）申请人 上海新昇半导体科技有限公司
地址 201306 上海市浦东新区临港新城云水路1000号
（10）申请公布号 CN110735179A
（43）申请公布日 2020.01.31
（72）发明人 邓先亮
（74）专利代理机构 北京市磐华律师事务所
代理人 高伟
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种应用于单晶炉的冷却装置及单晶炉
（57）摘要
本发明提供一种应用于单晶炉的冷却装置
及单晶炉，用于拉制高质量单晶硅棒，其特征在于，所述冷却装置包括：水冷套，所述水冷套包括设置在所述水冷套中的环形冷却水循环管路；导热附件，固定连接在所述水冷套的底端并向下延伸部分长度，用于吸收单晶硅棒的热量并传导至所述水冷套进行冷却，其中，所述导热附件的中心设置有空腔，以允许所述单晶硅棒通过，合理控制液面上部温度分布调节单晶硅棒的冷却速
率以控制单晶硅棒内部缺陷。
法律状态
法律状态公告日
2020-01-31 2020-01-31 2020-02-25
公开 公开
实质审查的生效
法律状态信息
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法律状态
实质审查的生效
权利要求说明书
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说明书
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