一种直拉法单晶炉热场快速冷却装置及冷却方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201910802106.6 （22）申请日 2019.08.28

（71）申请人 包头美科硅能源有限公司

地址 014010内蒙古自治区包头市昆都仑区金属深加工园区拓业路1号

（10）申请公布号 CN110453277A

（43）申请公布日 2019.11.15

（72）发明人 文勇;孟涛;王海庆;姚亮

（74）专利代理机构 南京经纬专利商标代理有限公司

代理人 石艳红

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种直拉法单晶炉热场快速冷却装置及冷却方法

（57）摘要

本发明公开了一种直拉法单晶炉热场快速

冷却装置及冷却方法，包括横向保温支撑环和至少两个冷却升降装置，每个冷却升降装置均包括托板、支撑连杆、波纹软管和升降底座；横向保温支撑环设在中部碳基保温筒和下部碳基保温筒之间，并与中部保温支撑筒底部相连；托板一端与横向保温支撑环相连，另一端与支撑连杆的顶端相连；支撑连杆位于碳基保温筒和炉筒之间的真空腔体内，另一端从炉底板中穿出，并与升降

底座相连；波纹软管套装在支撑连杆外周；波纹软管内呈真空状态；波纹软管的长度能够伸缩，升降底座的高度能够升降。本申请能将热场的冷却时间缩短50%以上，并且拆炉时热场温度能控制在100‑200℃，减弱热场氧化，提高石墨件使用寿命，降低生产成本。

法律状态

法律状态公告日2019-11-15 2019-11-15 2019-12-10

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效

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权利要求说明书

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说明书

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