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一种氢气传感器的制作方法[发明专利]

2022-06-21 来源:画鸵萌宠网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种氢气传感器的制作方法专利类型:发明专利发明人:禹胜林

申请号:CN201410639624.8申请日:20141113公开号:CN104569051A公开日:20150429

摘要:本发明涉及电子材料技术领域,尤其是涉及一种氢气传感器的制作方法。包括以下步骤:第一步、对金属氧化物进行退火处理;第二步、将氯化物、聚乙烯吡咯烷酮、NaI·2HO和去离子水同时加入盛有二甲基甲酰胺的烧杯中,第三步、将第二步得到的金属氧化物室温氢气敏感材料超声分散到无水乙醇中,然后将分散后的悬浊液滴在清洁过的叉指电极上,待乙醇挥发完全后得到气敏芯片,然后将气敏芯片与外围电路连接,得到氢气传感器。本发明制成的室温氢气传感器响应速度快,灵敏度高,均一性好,制作简单,成本低。可广泛应用于需要检测氢气泄露的情况,尤其适合于氢气浓度较高、用传统的高温传感器容易引发安全事故的场所。

申请人:无锡信大气象传感网科技有限公司

地址:214135 江苏省无锡市无锡国家高新技术产业开发区菱湖大道97号创新研发楼二期南楼101室

国籍:CN

代理机构:南京经纬专利商标代理有限公司

代理人:张惠忠

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