专利名称：复合衬底及其制造方法专利类型：发明专利发明人：陈龙,李成,袁理申请号：CN201611160554.3申请日：20161215公开号：CN108231695A公开日：20180629
摘要：一种复合衬底的制造方法，包括如下步骤：提供一具有单晶层表面第一衬底和一具有非晶或多晶材料表面的第二衬底，非晶或多晶材料与所述单晶层均为III族化合物半导体；注入起泡离子至所述第一衬底；以所述第一衬底的单晶层表面和第二衬底的非晶或多晶材料表面为中间层，将所述第一衬底和第二衬底键合在一起；热处理键合后衬底，使所述第一衬底在起泡离子注入处发生剥离而形成复合衬底，所述复合衬底包括设置在非晶或多晶材料表面的单晶层。
申请人：上海新微技术研发中心有限公司
地址：201800 上海市嘉定区城北路235号3号楼
国籍：CN
代理机构：上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：孙佳胤
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