1、呼吸机表面消毒。可用一次性布配合温和的洗涤剂进行擦拭，然后用一次性干布去除表面多余的洗涤剂。污染严重时可选用75%医用酒精进行擦拭。
2、面罩、管路及湿化器消毒。为保证消毒彻底，应在使用说明书指导下将各部件充分拆卸后按照清洗、消毒/灭菌及干燥三个步骤进行操作。
3、清洗。将各配件在洗涤剂或消毒剂中浸泡1分钟，然后用柔软的毛刷清洗，最后用清水充分洗净配件上残留的洗涤剂或消毒剂。
4、消毒/灭菌。常规可采用高温消毒方法，如有条件亦可采用化学消毒方法。高温消毒：将各配件浸入75℃水中浸泡30分钟。
5、化学消毒：将各配件在以下任一商用化学消毒剂溶液中浸泡。面罩：0.15%浓度过氧乙酸中浸泡30分钟，或在0.55%浓度邻苯二醛中浸泡20分钟，或在3.4%浓度戊二醛中浸泡20分钟。